半導（dǎo）體產（chǎn）業是一個非常成熟的行業，當黄瓜视频IOS把計算（suàn）機外，船上的小芯片數百萬顆恒星（xīng）甚至百萬晶體（tǐ）管。為了使這些（xiē）微小的晶體管工作，生產過（guò）程（chéng）_在一個幹淨的房間，集成電（diàn）路製造廠需要（yào）數（shù）十億，數（shù）十億的投資，更（gèng）因為需要一個幹淨的房間。
所謂的（de）潔淨室是一種人為的環境，其中包含顆粒通常（cháng）是（shì）好（hǎo）的環境下（xià），隨著集成電路技術的飛速發展，也增加了製造環境（無塵室）的清（qīng）潔度要求的行業，甚至大小小於1微米的顆粒，也可能阻礙產品操作（zuò）或減少其使用壽命。
由於納米技術的興起，半導體關鍵尺寸（cùn）的不斷減小，集成電路產品集塵度的增加，更容（róng）易失敗或（huò）可靠性劣化。例如，當金屬粉塵顆粒的金屬線，可使（shǐ）金屬絲形成短路。如果有酸性離子化合物（wù）粉塵的金屬絲，有腐蝕性，所以潔淨室專用集成電路製造_的元素。
根據美國聯邦政府頒布的標準[聯邦標準209 E（財政司司長），1992 ]，可分為六個等級的無塵室。1，10級，100級，1000級，10000級（jí），1級，00000級，如果清潔房間的塵（chén）埃粒子數描述，可（kě）以假（jiǎ）定（dìng）一個塵（chén）埃粒子大小0.5？米，例如，1級，10級，100級（jí）無塵（chén）室_粒數小於或等於1，10，100，如果粒子的大小是0.5？米，潔淨室等級應在一個特定的粒度級數表示。例如：100.2？米（粒徑範圍在0.2？米或更大，密度不_過75/立方？）1年級，0.1？米（mǐ）（粒徑範圍在0.1？米或更大，密度不_過35/立（lì）方英尺。）。和集成電路製造所需的無塵室清潔度_達（dá）到1000級以（yǐ）上。
為保持清潔幹淨（jìng）的房間，和工作人員有_的服裝規定；10000和100000個（gè）等級，_穿長袍，幹淨的（de）衣服，幹淨（jìng）的鞋子，帽子和口罩；1000級（含），都_穿上特殊的（de）清潔連衣，清潔鞋裹體，並戴手套和下表麵膜，清潔（jié）房間清潔定義。
粒（lì）子/立方英尺（chǐ）
係列0.1米0.2米0.3米（mǐ）0.4米0.5米
1357.531/
10350753010/
100/750300100/個
1000/，//10007
10000/，//1000070
00000/1/、/100000700
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